JTFB-1200复合分子泵

发布时间:2019-05-30编辑:浏览量:569

6   JTFB-1200复合分子泵

JT系列复合分子泵由涡轮分子泵和盘式牵引泵组合而成,它同时具有涡轮分子泵分子流时抽速大压缩比高,牵引泵高压强时抽速大,压缩比高的特点,扩展了分子泵的应用范围。

复合分子泵对被抽气体无选择性、无记忆效应,由于对分子量大的气体有很高的压缩比,因此该泵不需要冷阱和油挡板即可获得清洁的高真空和超高真空。其广泛应用于光伏,照明,宇航、半导体、能源、军工、激光、家电材料、汽车等真空技术的各个领域.


JTFB-1200复合分子泵外形尺寸、安装连接尺寸

1200

  JT系列复合分子泵技术参数表


表-2    JT系列复合分子泵技术参数表

技术数据

JTFB-1200复合分子泵

高真空法兰(mm)

200 CF  

200 ISO-K

前级管道法兰(mm)

40 KF

抽气速(L/S)(对空气)

1200

压缩比

N2

>109

H2

>1X104

极限压强(Pa)

<8×10-8

<5×10-7

电机转数(rpm)

24000

振动值

≤0.1μm

启动时间(min)

5

停机时间(min)

7

建议采用的前级泵(L/S)

8-15

冷却方式

水冷

水冷泵冷却水温度(℃)

≤25

水冷冷却水流量(L/min)

2

泵体烘烤温度(℃)

<120

加热器功率(w)

<300

加热器输入电压(v)

AC220装方

安向

垂直±5°

泵重量(kg)

≈29


11

JTFB-1200复合分子泵对空气的压缩比曲线

22JTFB-1200复合分子泵对氮气及氢气的压缩比曲线