一、什么是磁悬浮分子泵

磁悬浮分子泵是一种利用磁悬浮技术将转子悬浮于磁场中的真空泵。它通过高速旋转的转子与定子之间的分子碰撞，逐级将气体分子从真空腔体抽出。由于没有机械接触，磁悬浮分子泵具有无摩擦、无污染、低维护和高可靠性的特点，广泛应用于半导体制造、光学镀膜、科研实验等需要超高真空的领域。

二、磁悬浮分子泵有什么优点

• 无摩擦运行：转子悬浮在磁场中，无机械接触，减少磨损，延长使用寿命。

• 超洁净真空：无油润滑，无颗粒或油蒸气污染，适用于高洁净度要求的场合。

• 低维护成本：无需更换轴承或润滑油，减少维护频率和成本。

• 低振动和噪音：运行平稳，对精密应用友好。

• 高转速性能：转速更高，抽速更快，极限压力更低。

• 高可靠性：实时监控运行状态，稳定性强。

• 环保性：无润滑油污染，更环保。

三、磁悬浮分子泵的选型指南

（1）抽速要求

小型实验室设备：抽速一般在 50–300 L/s。

半导体设备或工业用途：需要更高抽速，如 500–3000 L/s。

气体种类：针对轻质气体（如氢、氦）或高分子量气体，需选择适合的分子泵。

（2）极限真空要求

超高真空应用：极限压力需达到 10⁻⁷ Pa 或更低。

普通高真空：极限压力为 10⁻⁴ Pa 左右即可满足需求。

残留气体要求：选择无油或低污染的磁悬浮分子泵以避免影响真空纯度。

（3）腔体体积与抽速匹配

容积大小计算：确定腔体体积与抽速匹配时间，保证泵能在所需时间内达到目标真空度。

（4）气体流量

确保泵能够承受工艺中产生的气体流量。

腐蚀性或特殊气体处理：选用耐腐蚀设计的磁悬浮分子泵。

（5）结构与安装方式

法兰接口类型：选择适合的法兰接口（ISO-KF、ISO-F、CF）。

安装方向：确认泵的安装是否支持垂直或水平方向。

冷却方式：可选择风冷或水冷，视环境条件而定。