一、久泰真空超高真空机组简介

久泰真空超高真空分子泵系列排气机组为适应真空应用市场需求而设计制造，整机简洁、美观、性能优良，操作简单、维护方便。我公司还可以根据客户要求进行非标定制，保证质量、及时供货。

 JT系列超高真空机组中真空获得为分子泵+机械泵，设备真空度在分子泵启动到400HZ后优于3*10-3Pa ；30分钟以内优于5*10-4Pa ；极限真空3*10-5Pa 。

机组为可移位台式小车结构，能够满足不同位置排气的需要。为缩短了排气时间，有效提高工作效率，机组可配备预抽排气系统，可在分子泵不停止的状态下实现换工件、预抽真空、抽高真空的排气流程。

二、超高真空机组选型指南

（1）抽速要求

目标真空度：根据实际工艺需求选择合适的机组：

超高真空：10⁻⁶ 至 10⁻⁸Pa。

极限真空：10⁻⁹Pa 以下，适用于实验室和科研应用。

腔体体积与抽气时间：

计算腔体体积和抽速需求，确保机组能在所需时间内达到目标真空度。

经验公式：抽气时间 = (腔体体积 × ln(P1/P2)) / 抽速。

（2）主要配置

超高真空机组通常由前级泵、主泵（如涡轮分子泵或磁悬浮分子泵）、真空阀和控制系统组成。

主泵类型：

涡轮分子泵：适合大部分超高真空工艺，经济高效。

磁悬浮分子泵：无油污染，适用于极高洁净度和高精密应用场景。

前级泵选择：

干式螺杆泵：无油设计，适合洁净环境。

油封机械泵：经济型方案，适用于一般工业应用。

真空阀：

配置超高真空插板阀或波纹管阀，确保密封性能。

冷却方式：

根据泵的设计选择风冷或水冷系统，确保设备在连续运行时温度稳定。

（3）工艺兼容性

气体种类：确认目标气体类型（如惰性气体、腐蚀性气体等），确保泵材质和密封件的耐腐蚀性。

特殊要求：如需要处理大量水蒸气或轻质气体，选择具有高吞吐能力或优化设计的型号。

（4）系统控制与安全

自动控制：选配智能控制系统，实现真空状态的实时监测与自动调节。

保护功能：确保配有防返流装置、压力过高保护和电源保护功能，防止设备损坏或工艺污染。

（5）运行环境与安装空间

安装空间：根据设备尺寸和维护需求预留足够的空间。

环境温度：大多数机组适用温度为5–40°C，需避免过高或过低温度运行。

振动与噪音：对振动和噪音敏感的应用场景，建议选择低振动、低噪音机型（如磁悬浮分子泵）。