一、性能指标

•  阀体漏率：金属方法兰＜1*10-8pa.l/s （胶圈方法兰阀体漏率：＜1*10-7pa.l/s）

• 使用范围：6*10E-8Pa－1*10E5Pa（胶圈密封 6*10E-7Pa－1*10E5Pa）

• 气源压力：0.4－0.7MPa （4－7kgf/cm2） 

• 使用流体：空气（经 40 微米滤网过滤）

• 进气接管：外径φ6mm 尼龙或塑料管 

• 阀门控制：DC-24V 或 AC220V 3W

• 磁性开关： 5-220V 100 mA

• 烘烤温度：阀体＜180℃（在阀门开启状态）、汽缸与阀体联结处＜80℃

• 阀门开启或关闭所需时间：DN35-DN63＞5 秒、DN100-DN250＞8 秒 

• 安装方向：建议阀板密封面向泵或高真空侧

• 阀板开启两侧压差：＜2000Pa

二、安装尺寸