一、机组配置
(1)300升风冷复合分子泵1台。
(2)3升机械泵1台。
(3)40角阀(或25角阀)一套,波纹管1根。
(4)高真空复合真空计1套(包括KF40电离规、KF16热偶规)。
(5)直径108mm*高80mm 测试罩1套。
(6)带脚轮、围板的小车1套。
二、机组外形图
三、机组外形尺寸图
一、机组配置
(1)300升风冷复合分子泵1台。
(2)3升机械泵1台。
(3)40角阀(或25角阀)一套,波纹管1根。
(4)高真空复合真空计1套(包括KF40电离规、KF16热偶规)。
(5)直径108mm*高80mm 测试罩1套。
(6)带脚轮、围板的小车1套。
二、机组外形图
三、机组外形尺寸图
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