一、机组配置
(1)JTFB-600F复合分子泵1台。
(2)4.3升无油涡旋真空泵1台/3升~6旋片式真空泵1台。
(3)KF40手动角阀1套,波纹管1根。
(4)高真空复合真空计1套(包括KF40电离规、KF16热偶规)。
(5)直径180mm*高138mm 测试罩1套。
(6)带脚轮、围板的小车1套。
二、机组外形图
三、机组外形尺寸
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