一、机组配置
(1)JTFB-1200胶圈水冷分子泵1台。
(2)2X-70旋片泵1台。
(3)BSJ150L罗茨泵1台。
(4)KF25气动角阀2套。
(5)200挡板阀1套。
(6)高真空复合真空计1套。(包括KF40电离规、KF16热偶规)
(7)波纹管3根。
(8)带脚轮、围板的机架1套。
(9)PLC控制系统1套。
(10)工作电压:380V
二、机组外形图
三、机组外形尺寸
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